Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃搭功能。
1、典型應用
光學對準
納米壓印
顯微成像/操縱
光柵刻寫
雙光子聚合
光學移相
晶圓檢測
表面檢測
測量技術
半導體加工
2、技術特點
超高定位精度
高動態
無摩擦柔性較鏈導向
超高真空兼容性
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-ST-Z | 單位 | |||
運動觸數 | 1 | |||
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |||
閉環行程 | 50 | 100 | 200 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm | ||
最小步長 | 0.5 | nm | ||
無負載諧振頻率 | 800 | Hz | ||
運動方向負載 | 5 | kg | ||
傳感器類型 | 電容傳感器 | |||
尺寸(LxWxH) | 90x36.5x90 | mm | ||
白重 | 685 | g | ||
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | ||
屏蔽線纜長度 | 2 | m | ||
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar | ||
*真空版可選
5、適配控制器
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