JKZC-RP-50C高精度旋轉(zhuǎn)平臺
JKZC-RP-50C 高精度旋轉(zhuǎn)平臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù),提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級分辨率,擁有可拓展性和可集成性。

1、典型應(yīng)用
樣品檢驗(yàn)
精密微組裝
光路切換
顯微及納米CT
機(jī)器視覺
半導(dǎo)體檢測
2、技術(shù)特點(diǎn)
高精度、高穩(wěn)定性
高運(yùn)動速度
輕量化設(shè)計(jì)且結(jié)構(gòu)緊湊
支持開環(huán)和閉環(huán)模式
超高真空兼容性
可提供軸心補(bǔ)償模塊抑制軸心晃動
高可靠性及模塊化設(shè)計(jì),摩擦單元可替換
滿足各種應(yīng)用場景
2、2D尺寸圖
3、規(guī)格參數(shù)
JKZC-RP-50C | 單位 | |
傳感器類型 | 光柵編碼器(鋼帶柵尺) | ° |
行程 | 360 (θZ) | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
豎直負(fù)載 | 2 | kg |
最小轉(zhuǎn)動分辨率 | 0.5 | μrad |
轉(zhuǎn)動重復(fù)精度 | ±1.5urad | μrad |
旋轉(zhuǎn)臺面直徑 | 50 | mm |
自重 | 180 | g |
尺寸(LxWxH) | 60x60x16.1 | mm |
工作溫度 | 10~50 | ℃ |
電氣接口 | D-sub9 | |
屏蔽線纜長度 | 1 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金。 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x109) | mbar |
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4、適配控制器



















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