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8.5"單溫區CVD真空管式爐--ZKXJ-11GL4

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京眾譜科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2026/6/18 8:57:25
  • 訪問次數4
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北京眾譜科技有限公司位于沈陽市沈北經濟技術開發區,地理位置*,交通運輸便利。  公司技術力量雄厚,主要代理經營制冷設備、膜厚儀、以及MKS的氣體壓力及流量測量與控制、射頻/直流/微波電源發生器及測量工具、氟原子/臭氧反應氣體發生器、真空產品、氣體分析儀及信息和控制技術等產品。公司擁有員工50人,其中專業技術人員10余人。占地面積200平方米,是沈陽市私營企業、沈陽市重點發展私營企業、獲得自營進口權的企業之一。2015年通過ISO9001國際質量體系認證。我公司通過與業務伙伴的緊密合作,憑借覆蓋全國的營銷服務網絡,致力于為客戶提供專業、方便、快捷的本地化服務。公司的客戶涉及工業電子制造、通信及信息技術、教育科研、航空航天、微電子、新能源、生物醫藥、節能環保等行業和領域,通過與mks(上海萬機儀器)、inficon膜厚儀(英富康)等廠商的合作,為客戶提供產品增值銷售、應用系統集成、科技租賃、計量校準、維修維護和科技資產外包管理等綜合服務。秉承"以質量求生存、以服務求發展"的宗旨,北京眾譜科技有限公司將繼續通過不懈的努力,為客戶提供"更豐富的產品選擇、更經濟的解決方案、更全面的專業服務",成為中國本領域的。
質譜儀
ZKXJ-11GL4是一款爐管外徑為8.5的真空管式爐,它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下).該爐的工作溫度為1100°C,采用30段可編程PID數字溫度控制器,溫控精度:±1°C
8.5"單溫區CVD真空管式爐--ZKXJ-11GL4 產品信息

ZKXJ-11GL4 是一款爐管外徑為  8.5" 的真空管式爐 , 它可以在6“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。



技術參數

爐體結構

  • 雙層殼體,循環風冷.

  • 爐體表面溫度< 70 oC

  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環保節能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規格

  • 8.5" O.D x 8.2" I.Dx 40"

  • 標配內包含一只石英管, 多余的管子可單獨訂購 (點擊下圖查看)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 極限溫度: 1100°C

  • 工作溫度: 400 -1000°C

  • 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區

  • 加熱區總長:    600mm (24'')

  • 恒溫區長度: 中心200mm (精度±1°C)

  • 在800℃時爐膛溫度分布曲線( 點擊下圖查看)          

控溫儀

  • 采用30段可編程PID數字溫度控制器

  • 設有一個額外的溫度校準檢測系統

  • 雙K型omega熱電偶測溫.

  • 溫控精度: ±1°C

  • 可選: PC接口和軟件

  • 軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購

密封法蘭和進氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到  (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內

  • 右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   ( 如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" x 1/4"dia  K 型熱電偶)

  • 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

使用注意事項
  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃

  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

產品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等)

Certificate

  CE certified


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