江蘇電子專用8噸/小時(shí)超純水設(shè)備是針對(duì)中大規(guī)模電子制造場(chǎng)景定制的純水制備設(shè)備，額定產(chǎn)水量為8噸/小時(shí)，可穩(wěn)定產(chǎn)出符合中國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的超純水，最高出水電阻率可達(dá)18.2MΩ·cm，滿足多數(shù)電子元器件、半導(dǎo)體、光伏等生產(chǎn)場(chǎng)景的工藝要求，參考市場(chǎng)價(jià)格根據(jù)配置不同從6.8萬(wàn)-18萬(wàn)元不等。
江蘇電子專用8噸/小時(shí)超純水設(shè)備
主流制備工藝
目前針對(duì)電子行業(yè)，最主流的是雙級(jí)反滲透+EDI+拋光混床的環(huán)保工藝，完整流程如下：
預(yù)處理單元：原水（市政水/地下水）入原水箱穩(wěn)壓，經(jīng)原水泵加壓后，依次通過(guò)多介質(zhì)過(guò)濾器（去除泥沙、鐵銹等大顆粒雜質(zhì)）→活性炭過(guò)濾器（吸附余氯、有機(jī)物）→鈉離子軟化器（降低水硬度，防止RO膜結(jié)垢）→5μm精密過(guò)濾器，將進(jìn)水調(diào)整至符合反滲透進(jìn)水要求（SDI≤5、余氯≤0.1mg/L）。
雙級(jí)反滲透深度脫鹽：預(yù)處理出水經(jīng)一級(jí)高壓泵送入一級(jí)RO膜組，脫除98%以上溶解性鹽類、膠體、微生物，產(chǎn)水進(jìn)入中間水箱緩沖；再經(jīng)二級(jí)高壓泵送入二級(jí)RO膜組，進(jìn)一步脫除殘留離子，二級(jí)產(chǎn)水電導(dǎo)率可降至≤2μS/cm@25℃，一級(jí)RO濃水可回流利用，整體水回收率可達(dá)75%-90%。
EDI深度電去離子：二級(jí)RO產(chǎn)水經(jīng)增壓泵送入EDI模塊，依靠電場(chǎng)作用完成深度脫鹽并實(shí)現(xiàn)樹脂原位再生，無(wú)需酸堿藥劑，此時(shí)產(chǎn)水電阻率可達(dá)到≥15MΩ·cm@25℃。
終端精處理與殺菌：為滿足電子行業(yè)對(duì)純度的要求，EDI產(chǎn)水送入拋光混床進(jìn)一步深度脫離子，再經(jīng)過(guò)254nm紫外線殺菌器殺滅微生物，最后經(jīng)0.05μm終端精密過(guò)濾器截留顆粒物，最終產(chǎn)出合格超純水送入無(wú)菌純水罐，輸送至各用水點(diǎn)。
核心性能與特點(diǎn)
水質(zhì)達(dá)標(biāo)穩(wěn)定：根據(jù)不同電子生產(chǎn)需求可定制出水等級(jí)，最高可滿足一級(jí)電子級(jí)超純水要求，出水電阻率穩(wěn)定在18.2MΩ·cm，總有機(jī)碳（TOC）＜1ppb，細(xì)菌含量＜1CFU/L，符合芯片、面板制造的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。
環(huán)保運(yùn)維成本低：采用的EDI工藝，無(wú)需酸堿再生，沒(méi)有化學(xué)廢液排放，不存在再生停機(jī)間隙，可24小時(shí)連續(xù)產(chǎn)水，噸水運(yùn)行成本僅為傳統(tǒng)離子交換工藝的50%左右，人工運(yùn)維強(qiáng)度低。
全自動(dòng)智能控制：整機(jī)采用PLC+觸摸屏全自動(dòng)控制，配備液位自動(dòng)控制、高低壓保護(hù)、在線實(shí)時(shí)水質(zhì)監(jiān)測(cè)、故障自動(dòng)報(bào)警功能，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和數(shù)據(jù)追溯，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守穩(wěn)定運(yùn)行。
材質(zhì)合規(guī)耐用：所有與水接觸的管路、罐體均采用衛(wèi)生級(jí)304/316L不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)壁拋光處理，無(wú)衛(wèi)生死角，避免二次污染，核心RO膜、EDI模塊采用進(jìn)口品牌，脫鹽率穩(wěn)定，使用壽命可達(dá)3-5年。
主流應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體領(lǐng)域：晶圓切割、硅片清洗、集成電路封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的生產(chǎn)用水；
顯示面板領(lǐng)域：LCD、LED、OLED玻璃基板、光學(xué)鏡頭清洗用水；
光伏新能源領(lǐng)域：?jiǎn)尉Ч?多晶硅切片清洗、光伏電池、光伏玻璃生產(chǎn)用水；
電子元器件領(lǐng)域：PCB/線路板電鍍液配制、成品清洗，鋰電池正負(fù)極材料、隔膜生產(chǎn)用水，電解電容器鋁箔清洗用水。
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