高速納米掃描臺
高速納米掃描臺基于音圈電機驅動和高精度導向模組實現納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動,內置光柵位移傳感器,具有納米級運動分辨率和運動精度,同時兼具高速、高動態位移定位和掃描功能。
1、典型應用
光學系統中透鏡的定位
機械工具的多坐標定位平臺
醫學裝置中精密電子管、真空管控制
柔性機器人中使未端執行器快速精確定位
2、技術特點
超高定位精度
高動態特性
多運動模式:定位/掃描
超長行程
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-Z-10A | 單位 | |
運動軸 | Z(可橫放) | |
驅動類型 | 音圈電機 | |
音圈頻率 | ≤20 | Hz |
Z向行程 | 10 | mm |
豎直大負載 | 800 | g |
分辨率 | 1.22 | nm |
最小步長 | 5 | nm |
傳感器類型 | 光柵編碼器 | mm |
尺寸(LxWxH) | 90x112x62 | ℃ |
工作溫度 | 10-50 | |
電氣接口 | D-sub9(可定制 | |
線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10) | mbar |
5、適配控制器


















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