蘇州芯矽電子科技有限公司（簡稱“芯矽科技”）是國內半導體濕法清洗設備的企業，自2018年3月成立以來，憑借自主研發的核心技術與全產業鏈服務能力，迅速成長。公司總部位于江蘇蘇州工業園區，注冊資本1275萬元，擁有95名員工組成的專業團隊，其中45名為技術工程師，并建有400㎡萬級無塵室和3000㎡潔凈車間，支撐其高精度設備的研發與生產。
核心產品與技術優勢
芯矽科技主打單片清洗機、槽式清洗設備及石英清洗機三大產品線。其單片清洗機適配12英寸制程晶圓，集成IPA蒸汽干燥模塊和旋轉噴淋系統，支持RCA標準流程、酸洗、堿洗及DHF蝕刻等工藝，尤其適用于低介電常數材料等敏感器件的清洗。槽式清洗設備則通過超聲波與化學清洗技術的協同作用，利用空化效應高效剝離納米級顆粒，多槽連續設計顯著提升效率并降低成本。針對半導體制造中的石英爐管、Boat等部件，公司提供定制化尺寸和污染解決方案的專用清洗機，展現了高度的技術靈活性。
在技術創新方面，芯矽科技融合超聲波、兆聲波及干法輔助技術，滿足高深寬比結構的深度清潔需求。其智能化系統搭載PLC控制與AI算法，可實時監測pH值、ORP電位及顆粒濃度等關鍵參數，動態優化清洗策略；機械臂傳輸精度達±0.1mm，大幅減少人為干預導致的良率波動。此外，設備采用無毒可降解清洗液與環保廢水處理技術，踐行綠色制造理念。
目前，芯矽科技已為長江存儲、中芯國際、華潤微電子等主流晶圓廠提供設備解決方案，覆蓋8英寸至12英寸產線的多樣化需求，持續推動國產半導體設備的自主化進程。
采購中心
