半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水對(duì)TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴(yán)格，達(dá)到PPb級(jí)，產(chǎn)水水質(zhì)要求在18.2MΩ·cm以上。

半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程

1.反滲透純水設(shè)備

RO反滲透膜的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)一層反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜，從而透過(guò)的純水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格的分開(kāi);

反滲透膜上的孔徑只有0.0001um，而病毒的直徑一般有0.02-0.4um，普通細(xì)菌的直徑有0.4-1um。反滲透純水機(jī)的正常工作有賴于一定的壓力，這個(gè)壓力大于滲透膜的滲透壓，一般是2.8公斤/平方厘米。

在水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū)，我們建議您一定要購(gòu)買有前段增壓泵的反滲透純水系統(tǒng)，它的工作壓力可達(dá)0.3-0.6Mpa，不受自來(lái)水壓限制，制水效率高,速度快、排濃縮水少。

反滲透有效的除鹽，一級(jí)反滲透設(shè)備出水電阻率一般在0.05-0.5MΩ·CM。此純水系統(tǒng)產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定，是目前比較通用的純水生產(chǎn)設(shè)備，生產(chǎn)品質(zhì)基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。

2.EDI電除鹽超純水系統(tǒng)

連續(xù)電除鹽(EDI)，是利用混和離子交換樹(shù)脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被除去的過(guò)程。這一過(guò)程離子交換樹(shù)脂是電連續(xù)再生的，因此不需要使用酸和堿對(duì)之再生。

這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換裝置，生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水。整個(gè)工藝流程前面的部分和常規(guī)的水處理工藝沒(méi)有很大區(qū)別，一般是先經(jīng)過(guò)預(yù)處理，然后加藥殺毒，再經(jīng)過(guò)RO反滲透系統(tǒng)，再使用EDI設(shè)備制取超純水。