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氣態化學污染物危害性以及解決方案
氣態化學污染物危害性以及解決方案
1、半導體行業0.25微米生產工藝中氣態化學污染物的濃度必須控制<5ppt,如果氣態污染物濃度>5ppt導致半導體層間結合失效;導致HEPA過濾器降解，比如濾料釋放出硼;導致兩道制程之間的結合界面高電阻;導致晶元或者光學透鏡表面沉積霧狀。
2、依據行業環境控制流程可以在新風系統、空氣循環系統、末端FFU或者局部自動化設備上的EFU配置化學過濾器。
3、優佳的氣態污染物解決方案可以起到如下作用:
延長維護周期;增強產品的可靠性和壽命;強化制程控制、增強產品優良率;提高電子和機械的性能;優化生產控制。
