對水冷發(fā)生器采說，為使傳熱表面的結(jié)垢zui少，冷卻水的水質(zhì)十分重要。結(jié)垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產(chǎn)量，增加維護(hù)費(fèi)用。在技術(shù)上自來水是被優(yōu)先選擇的冷卻劑，不過，對大型工業(yè)用發(fā)生器所需要的耗水量來說，使用自來水經(jīng)濟(jì)上毫無吸引力，也許只有發(fā)生系統(tǒng)用在水處理廠的情況除外。與自來水水質(zhì)相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因?yàn)樗菀讓?dǎo)致結(jié)垢。如果高質(zhì)量的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是專門設(shè)計(jì)得zui少結(jié)垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費(fèi)和設(shè)備維護(hù)費(fèi)之間的平衡，系統(tǒng)設(shè)計(jì)時多數(shù)采用冷卻塔水或熱交換器優(yōu)質(zhì)飲用水(無懸浮固體、氯化物<5mg／L)。