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無特殊要求
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補充說明

1、箱體尺寸:長度≥1220mm,寬度≥750mm,高度≥900mm,數量1個,玻璃視窗采用實芯O型密封圈(真空密封方式)法蘭視窗結構,達到無泄漏,實芯O型圈直徑不超過8mm,密封槽為方形凹槽,實芯密封圈安裝方式為嵌入密封槽內安裝,不接受單層或雙層空芯密封圈粘貼在支撐面上的密封方式。2、PLC控制操作系統:數量:1套,可對設備進行遠程監控、診斷、故障自動報警3、氣體凈化柱:數量:1套,凈化材料可再生,且再生過程自動控制、自動除水除氧功能,H2O﹤1ppm ,O2﹤1ppm。4、氣體純度:水<1ppm,氧<1ppm。5、小時泄露率:≤9X10-6/h6、氣體控制閥:數量1個,≥4芯不銹鋼電磁集成閥座。7、真空泵:數量:1臺,規格:≥8m3 /h,旋片泵,帶油霧過濾器,氣振控制。8、水分析儀:數量:1臺,測量范圍是0~500ppm,水探頭可以通過清洗再生程序恢復初始狀態,可重復使用,避免了一次污染即報廢的問題。9、氧分析儀:數量:1臺,測量范圍:0~1000ppm,采用ZrO2傳感器,不得采用燃料電池,采用二氧化鋯傳感器,避免了燃料電池(電化學電池)壽命短,不能暴露在高氧中的問題。11、提供廠家售后服務承諾原件。12、手套箱密封性要求:焊接部分要求設備廠家需有無損探傷房,可進行無損探傷檢測(保證箱體密封性)。

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